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水平棕化劑

2022-03-02 670

 Horizontal Brown Oxide Process

微蝕型水平棕化制程

Process Sequence (制程)

Cleaner (堿性清洗)

Rinse*3 (水洗)

Acid rinse (酸性清洗)

Rinse*2 (DI水洗)

Pre-dip (預浸)

Brown-Oxide (棕化)

Rinse*4 (DI水洗)

Hot-Dryer(熱風吹干)

 

 

Step(步驟)

Treatment Time(處理時間)

Temperature(處理溫度)

Cleaner(堿性清洗)

30〃~50〃

5060℃

Rinse*3 (水洗)

1'~2'

RT

Acid rinse(酸性清洗)

30〃~40〃

RT

Rinse*2 (DI水洗)

1'~1'30〃

RT

Pre-dip (預浸)

20〃~30〃

3540℃

Brown-Oxide (棕化)

50〃~75〃

3540℃

Rinse*4 (DI水洗)

1'~2'

RT

Hot-Dryer (熱風吹干)

1'~2'

8590℃


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